畢業(yè)設計(論文)開題報告 靜電梳狀驅(qū)動器的設計與建模

上傳人:郭** 文檔編號:70031068 上傳時間:2022-04-06 格式:DOC 頁數(shù):5 大?。?7.50KB
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1、 昆明理工大學畢業(yè)設計(論文) 開 題 報 告 題 目: 靜電梳狀驅(qū)動器的設計與建模 學 院: 理學院 專 業(yè): 電子信息科學與技術 學生姓名: 指導教師: 日 期:

2、 2007年3月 畢業(yè)設計(論文)的主要內(nèi)容:MEMS簡介,MEMS工藝簡介,表面加工的介紹,MUMPs工藝介紹,EDA工具的使用, ANSYS軟件的建模與仿真 靜電梳狀結構作為驅(qū)動部件或檢測部件,已在微機電系統(tǒng)特別是在表面微機械器件中得到廣泛的應用,如諧振器、微夾持器、微振動電動機等等。在微機械領域已經(jīng)成為靜電驅(qū)動的首選結構。這種微驅(qū)動器是目前MOEMS中使用最廣泛的一種驅(qū)動器 ,可用于驅(qū)動可移動微鏡 、微掃描器等。本文對10對梳尺的驅(qū)動器,給以設計參數(shù),進行建模與仿真。 設計(論文)的技術路線及預期目標: 通過查閱各類參考資料

3、,使自己對驅(qū)動器有一定的了解,并著重對靜電梳狀驅(qū)動器有一定的研究。然后設計出自己的靜電梳狀驅(qū)動器,形狀,尺寸,材料,以及工藝。用ANSYS軟件先對其進行結構建模,然后再對其進行仿真。預期目標使靜電梳狀驅(qū)動器能夠與真實的器件一樣,實現(xiàn)自身基本功能。 課題進度計劃 開學時與指導老師交流討論擬定畢業(yè)設計題目并進行初步的資料收集把開題報告做好以及翻譯好3000字的外文資料. 接下來就要對我所用的軟件進行了解和掌握,為接下來的具體操作作好理論的保障。同時進一步查閱建模和仿真方面以及其他相關的資料,并對所查資料進行分析,并組織相關資料,使其使自己知道每一個知識點的大體位置,為后面的工作做好充實的準備

4、。 大概在3月份末 4月份初的時候,就必須開始進行設計,建模與仿真了。在制作過程中,要一邊自己動手實際操作,同時還要把結合現(xiàn)有的資源進行整合,遇到不懂得問題要及時和老師及同學進行請教和探討,所作課題必須滿足其應該具有的基本功能,要使其能夠順利,流暢地運行。最好能在老師和同學的幫助下,把自己制作的課題做出自己的風格于特色,能夠達到一定的水平。要清楚自己的整個制作過程,要能清楚、明了的知道每一個知識點的來源和制作步奏,為接下來寫論文和答辯作好準備。同時每隔一定時間主動向老師匯報畢業(yè)設計進展狀況以得到老師及時的指導。 論文撰寫完成后應該是在6月份了,離交論文的時間已經(jīng)沒有幾天了,根據(jù)指導老師和評

5、閱人的指導意見對論文進行修改完善,在保證論文沒有比較大的失誤下,還要對論文進行比較認真的核查和消化,為后面的畢業(yè)答辯做好充分的準備。 完成課題所需條件及落實措施: 需要安裝有相應環(huán)境的可以上網(wǎng)的計算機一臺。其次就是所需要的軟件,ANSYS 10.0。這個軟件,我已經(jīng)在網(wǎng)上下載,而相關的一些資料在陳老師處給我們一定的提供,這個軟件我以前沒有接觸過,很難上手,這些問題我會在課題完成過程中,通過自己看書學習和向老師請教克服完成。 學校為我們提供了制作課題的計算機,相關的環(huán)境已經(jīng)安裝和調(diào)試完畢,我們自己也有計算機,所以這些硬件的問題都可以得到良好的解決。學院對于我們資料的查找和論文的寫作還提供了

6、一定的經(jīng)費,使我們能更好的完成自己的畢業(yè)設計,使我們能順利畢業(yè)。 參考文獻、資料: [1] LauKY.MEM's the Word for Optical Beam Manipulation [J1.IEEE Circuits&Devices,1997, (7):11~18 [2] W Huang,G Lu.Analysis of Lateral Instability of in-plane Comb Drive MEMS Actuators Based on a Two—dimensional Mode1.Sensors and Actuators,2004, (113):78

7、~85 [3] C Chen,C Lee.Design and ModeKng for Comb Drive Actuator with Enlarged Static Displacement.Sensors and Ac—tuators,2004, (115):530~539 [4] R Le~enberg,A W Groeneveld,M Elwenspoek.Comb —drive Actuators for Large Displacements.J.Micromech.Microeng,1996,(6):320~329 [5] T Hirano,T Furuhata,K

8、J Gabrial,H Fujita.Design,F(xiàn)abrication and'Operation of Submicron Gap Comb-drive Microactuators.IEEE J.Microelectromech.1992.1:52~60 [6] G Zhou,P Dowd.Tilted Folded-beam Suspension for Extending The Stable Travel Range of Comb-drive Actuators. J . Micromech . Microeng . 2003 (13) 178~183 指導教師

9、意見: 指導教師(簽字): 年 月 日 學院畢業(yè)設計(論文)工作領導小組意見: 組長(簽字): 年 月 日

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