畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)開題報(bào)告 靜電梳狀驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與建模

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1、 昆明理工大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文） 開 題 報(bào) 告 題 目： 靜電梳狀驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與建模 學(xué) 院： 理學(xué)院 專 業(yè)： 電子信息科學(xué)與技術(shù) 學(xué)生姓名： 指導(dǎo)教師： 日 期：

2、 2007年3月 畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）的主要內(nèi)容：MEMS簡(jiǎn)介，MEMS工藝簡(jiǎn)介，表面加工的介紹，MUMPs工藝介紹，EDA工具的使用， ANSYS軟件的建模與仿真 靜電梳狀結(jié)構(gòu)作為驅(qū)動(dòng)部件或檢測(cè)部件，已在微機(jī)電系統(tǒng)特別是在表面微機(jī)械器件中得到廣泛的應(yīng)用，如諧振器、微夾持器、微振動(dòng)電動(dòng)機(jī)等等。在微機(jī)械領(lǐng)域已經(jīng)成為靜電驅(qū)動(dòng)的首選結(jié)構(gòu)。這種微驅(qū)動(dòng)器是目前MOEMS中使用最廣泛的一種驅(qū)動(dòng)器 ,可用于驅(qū)動(dòng)可移動(dòng)微鏡 、微掃描器等。本文對(duì)10對(duì)梳尺的驅(qū)動(dòng)器，給以設(shè)計(jì)參數(shù)，進(jìn)行建模與仿真。 設(shè)計(jì)（論文）的技術(shù)路線及預(yù)期目標(biāo)： 通過查閱各類參考資料

3、，使自己對(duì)驅(qū)動(dòng)器有一定的了解，并著重對(duì)靜電梳狀驅(qū)動(dòng)器有一定的研究。然后設(shè)計(jì)出自己的靜電梳狀驅(qū)動(dòng)器，形狀，尺寸，材料，以及工藝。用ANSYS軟件先對(duì)其進(jìn)行結(jié)構(gòu)建模，然后再對(duì)其進(jìn)行仿真。預(yù)期目標(biāo)使靜電梳狀驅(qū)動(dòng)器能夠與真實(shí)的器件一樣，實(shí)現(xiàn)自身基本功能。 課題進(jìn)度計(jì)劃 開學(xué)時(shí)與指導(dǎo)老師交流討論擬定畢業(yè)設(shè)計(jì)題目并進(jìn)行初步的資料收集把開題報(bào)告做好以及翻譯好3000字的外文資料. 接下來(lái)就要對(duì)我所用的軟件進(jìn)行了解和掌握，為接下來(lái)的具體操作作好理論的保障。同時(shí)進(jìn)一步查閱建模和仿真方面以及其他相關(guān)的資料，并對(duì)所查資料進(jìn)行分析，并組織相關(guān)資料，使其使自己知道每一個(gè)知識(shí)點(diǎn)的大體位置，為后面的工作做好充實(shí)的準(zhǔn)備

4、。 大概在3月份末 4月份初的時(shí)候，就必須開始進(jìn)行設(shè)計(jì)，建模與仿真了。在制作過程中，要一邊自己動(dòng)手實(shí)際操作，同時(shí)還要把結(jié)合現(xiàn)有的資源進(jìn)行整合，遇到不懂得問題要及時(shí)和老師及同學(xué)進(jìn)行請(qǐng)教和探討，所作課題必須滿足其應(yīng)該具有的基本功能，要使其能夠順利，流暢地運(yùn)行。最好能在老師和同學(xué)的幫助下，把自己制作的課題做出自己的風(fēng)格于特色，能夠達(dá)到一定的水平。要清楚自己的整個(gè)制作過程，要能清楚、明了的知道每一個(gè)知識(shí)點(diǎn)的來(lái)源和制作步奏，為接下來(lái)寫論文和答辯作好準(zhǔn)備。同時(shí)每隔一定時(shí)間主動(dòng)向老師匯報(bào)畢業(yè)設(shè)計(jì)進(jìn)展?fàn)顩r以得到老師及時(shí)的指導(dǎo)。 論文撰寫完成后應(yīng)該是在6月份了，離交論文的時(shí)間已經(jīng)沒有幾天了，根據(jù)指導(dǎo)老師和評(píng)

5、閱人的指導(dǎo)意見對(duì)論文進(jìn)行修改完善，在保證論文沒有比較大的失誤下，還要對(duì)論文進(jìn)行比較認(rèn)真的核查和消化，為后面的畢業(yè)答辯做好充分的準(zhǔn)備。 完成課題所需條件及落實(shí)措施： 需要安裝有相應(yīng)環(huán)境的可以上網(wǎng)的計(jì)算機(jī)一臺(tái)。其次就是所需要的軟件，ANSYS 10.0。這個(gè)軟件，我已經(jīng)在網(wǎng)上下載，而相關(guān)的一些資料在陳老師處給我們一定的提供，這個(gè)軟件我以前沒有接觸過，很難上手，這些問題我會(huì)在課題完成過程中，通過自己看書學(xué)習(xí)和向老師請(qǐng)教克服完成。 學(xué)校為我們提供了制作課題的計(jì)算機(jī)，相關(guān)的環(huán)境已經(jīng)安裝和調(diào)試完畢，我們自己也有計(jì)算機(jī)，所以這些硬件的問題都可以得到良好的解決。學(xué)院對(duì)于我們資料的查找和論文的寫作還提供了

6、一定的經(jīng)費(fèi)，使我們能更好的完成自己的畢業(yè)設(shè)計(jì)，使我們能順利畢業(yè)。 參考文獻(xiàn)、資料： [1] LauKY．MEM's the Word for Optical Beam Manipulation [J1．IEEE Circuits&Devices，1997, (7)：11~18 [2] W Huang，G Lu．Analysis of Lateral Instability of in-plane Comb Drive MEMS Actuators Based on a Two—dimensional Mode1．Sensors and Actuators，2004, (113)：78

7、~85 [3] C Chen，C Lee．Design and ModeKng for Comb Drive Actuator with Enlarged Static Displacement．Sensors and Ac—tuators，2004, (115)：530~539 [4] R Le~enberg，A W Groeneveld，M Elwenspoek．Comb —drive Actuators for Large Displacements．J．Micromech．Microeng，1996，(6)：320~329 [5] T Hirano，T Furuhata，K

8、J Gabrial，H Fujita．Design，F(xiàn)abrication and'Operation of Submicron Gap Comb-drive Microactuators．IEEE J．Microelectromech.1992.1：52~60 [6] G Zhou，P Dowd．Tilted Folded-beam Suspension for Extending The Stable Travel Range of Comb-drive Actuators. J . Micromech . Microeng . 2003 (13) 178~183 指導(dǎo)教師

9、意見： 指導(dǎo)教師（簽字）： 年 月 日 學(xué)院畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）工作領(lǐng)導(dǎo)小組意見： 組長(zhǎng)（簽字）： 年 月 日