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1、關(guān)于關(guān)于 CLEAN ROOM 是區(qū)分潔凈室的等級的基準。 以美聯(lián)邦規(guī)格(FED-STD-209C)作為標(biāo)準使用, 長、寬、高各為1Feet(30.48cm)體積內(nèi)的空氣中, 包含的一定大小以上的灰塵數(shù)。所謂CLEAN-CLASS?比比0.5大的大的灰塵會有幾個灰塵會有幾個呢?呢??1FT=30.48cm1FT=30.48cm1FT=30.48cm CLEAN-ROOM 等級 劃分GLASS 區(qū)區(qū)分分灰塵量灰塵量 最大最大 容許數(shù)容許數(shù)備注備注 1 0.5以上以上 1個個以下以下100 1 10 0.5以上以上 10個個以下以下101 10 100 0.5以上以上 100個個以下以下102 1
2、00 1,000 0.5以上以上 1,000個個以下以下103 1,000所謂灰塵(所謂灰塵(PARTICLE DUST)? 存在于空氣或GAS、液體上的固體性物質(zhì)。 比1 大的稱為微粒子(DUST), 比1 小的稱為灰塵(PARTICLE), 但我們出于便利,通用為灰塵( PARTICLE )。 作為我們管理對象的粒子的大小呢?作為我們管理對象的粒子的大小呢?0.5 粒子太小,用廓大鏡粒子太小,用廓大鏡都難看到都難看到 真是!真是! 這可怎么找啊?這可怎么找?。?00 ?(0.5 )煙霧煙霧 (1.0 )微細微細Spray的的 最小粒子(最小粒子(1.0 )頭發(fā)頭發(fā) (100) 清潔管理 4
3、大原則各位知道我們管理0.5的粒子的理由嗎?那是因為,第一,對潔凈室等級的規(guī)格是按照美聯(lián)邦規(guī)格基準適用的評價基準,第二,灰塵(PARTICLE)測定方法中,光散射式記數(shù)法粒子基準在0.5的粒子的評價的信賴性最高 想必各位應(yīng)該知道吧? 管理管理0.5的粒子的理由的粒子的理由? AIR-SHOWER 實際去除的實際去除的灰塵數(shù)灰塵數(shù)?灰塵灰塵直直徑徑?jīng)]有進行風(fēng)淋時沒有進行風(fēng)淋時經(jīng)過風(fēng)淋后經(jīng)過風(fēng)淋后風(fēng)淋風(fēng)淋+Ionizer0.3 571,000121,00035,0000.5 367,000 75,00026,000(實驗值實驗值)去除灰塵的比較去除灰塵的比較感應(yīng)器(SENSOR)是為了AIR-SH
4、OWER自動動作,感應(yīng)人進入到風(fēng)淋室的機能進入到風(fēng)淋室的機能。預(yù)濾器(PRE-FILTER)是AIR-SHOWER動作中, 去除去除從人的身體或衣服上掉下來的大灰塵給大灰塵給 HEPA- FILTER影響的機能。影響的機能。進入進入AIR-SHOWER 時時,要在有要在有SENSOR地方等待地方等待HEPA-FILTER的壽命在于對的壽命在于對PRE-FILTER的管理的管理 HEPA-FILTER的壽命在于PRE-FILTER的管理 預(yù)濾器(預(yù)濾器(PRE-FILTER)的清掃方法?)的清掃方法?第一第一.每周清掃一次每周清掃一次. 清掃用清掃用真空清掃器去除真空清掃器去除FILTER上沾上
5、的灰塵上沾上的灰塵.第二第二.隔周清掃(隔周清掃(2周周1次)次) 中性洗滌(中性洗滌(5)與水()與水(95)混合)混合后,后, 將將FILTER浸泡在里面,左右浸泡在里面,左右10次、上下次、上下10次次 晃動之后,晃動之后,在純水中清洗在純水中清洗, 最后在通風(fēng)良好的地方最后在通風(fēng)良好的地方干燥干燥,清掃,清掃 即即OK! AIR-SHOWER(風(fēng)淋風(fēng)淋)的機能簡的機能簡述的話述的話! AIR-SHOWER的目的的目的.! AIR-SHOWER去除去除出入潔凈室人出入潔凈室人的衣服上的衣服上 或身上或身上附著的灰塵附著的灰塵 形成形成潔凈室的潔凈室的 AIR LOCK.(AIR-LOCK
6、)?設(shè)置出入口兩扇門,設(shè)置出入口兩扇門,不讓兩扇門同時開起,不讓兩扇門同時開起,來切斷空氣的機能來切斷空氣的機能. 在AIR-SHOWER去除灰塵的效率.?灰塵大小灰塵大小 5 以下以下520205050以上以上去除效率去除效率80859095AIR-SHOWE?將清凈化的強風(fēng)對人進行吹襲,來去除將清凈化的強風(fēng)對人進行吹襲,來去除人身上或衣服上附著的灰塵的潔凈室的人身上或衣服上附著的灰塵的潔凈室的輔助設(shè)備。輔助設(shè)備。風(fēng)力一般為風(fēng)力一般為20M/Sec(初速初速20M),接近于接近于B級型臺風(fēng)的風(fēng)速。級型臺風(fēng)的風(fēng)速。從HEPA-FILTER出來的Air supply的風(fēng)速 給氣流帶來怎樣的影響?
7、風(fēng)速與氣流的關(guān)系? HEPA-FILTER (高效微粒空氣過濾器)風(fēng)速差異多發(fā)生情況(高效微??諝膺^濾器)風(fēng)速差異多發(fā)生情況如上圖中,產(chǎn)生向風(fēng)速弱的地方傾斜傾斜的傾向.這樣的現(xiàn)象稱為偏流現(xiàn)象偏流現(xiàn)象。風(fēng)速風(fēng)速: 1.0M/S風(fēng)速風(fēng)速: 0.7M/SDEAD ZONE HEPA-FILTER(高效微??諝膺^濾器)風(fēng)速低的情況時(高效微粒空氣過濾器)風(fēng)速低的情況時如上圖中,因風(fēng)速弱,空氣向兩個壁面的通風(fēng)口漏出去.因此DEAD ZONE的空間將變寬。風(fēng)速風(fēng)速: 0.3M/S風(fēng)速風(fēng)速: 0.3M/SDEAD ZONEDEAD ZONEDEAD ZONE HEPA-FILTER (高效微??諝膺^濾器)風(fēng)
8、速高的情況時(高效微??諝膺^濾器)風(fēng)速高的情況時如上圖中,風(fēng)速沖擊到潔凈室地面或生產(chǎn)設(shè)備潔凈室地面或生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)生逆流上升的現(xiàn)象逆流上升的現(xiàn)象。潔凈室地面以及設(shè)備上的異物(灰塵)與氣流一同飛散污染潔凈室中央污染潔凈室中央。另外嚴重發(fā)生渦流現(xiàn)象。渦流現(xiàn)象。風(fēng)速風(fēng)速: 1.5M/S風(fēng)速風(fēng)速: 1.5M/SDEAD ZONEDEAD ZONE有關(guān)風(fēng)速與氣流有關(guān)風(fēng)速與氣流器具的風(fēng)速差異大時,器具的風(fēng)速差異大時, 產(chǎn)生偏流現(xiàn)象,產(chǎn)生偏流現(xiàn)象, 風(fēng)速快時,有渦流現(xiàn)象,風(fēng)速快時,有渦流現(xiàn)象, 風(fēng)速慢時,污染地方多。風(fēng)速慢時,污染地方多。 太有難度了太有難度了! 風(fēng)速與氣流有怎樣的關(guān)系?風(fēng)速與氣流有怎樣的關(guān)系?從潔凈室地面測定的風(fēng)速要從潔凈室地面測定的風(fēng)速要 選定為選定為0.1M/S20% 程度。程度。潔凈室內(nèi)通風(fēng)口的風(fēng)速,在潔凈室內(nèi)通風(fēng)口的風(fēng)速,在選定的值的基礎(chǔ)上調(diào)整選定的值的基礎(chǔ)上調(diào)整 20% 范圍。范圍。0.120 怎樣選定風(fēng)速最好呢?怎樣選定風(fēng)速最好呢? 選定恰當(dāng)風(fēng)速的潔凈室的選定恰當(dāng)風(fēng)速的潔凈室的高度別灰塵量是什么程度的?高度別灰塵量是什么程度的?2M1M 序號越低序號越低,灰塵量越少?;覊m量越少。